荷兰ASML公司前不久发布的财报显示2019年该公司出货了26台EUV光刻机，创造了历史记录。ASML没有公布具体的客户名单，但是主要买家就是台积电与三星。现在韩国媒体爆料称，三星日前又下了一笔大订单，斥资33.8亿美元采购20台EUV光刻机，不仅会用于7/5nm等逻辑工艺，还会用在DRAM内存芯片生产上。 据报道，三星在1月15日与ASML公司签订了新一轮订单，将采购20台EUV光刻机，总计花了33.8亿美元，约合234亿元人民币。 这次的EUV光刻机采购规模比去年10月份的15台、181亿元的规模更大，显示出三星在EUV工艺上的雄心，毕竟三星从7nm开始就会直接上马EUV工艺，目前已经量产，高通、NVIDIA、IBM等公司都会是三星7nm EUV工艺的客户。 在7nm之后，三星还会推出6nm LPP、5nm LPE、4nm LPE等工艺，依然少不了EUV光刻机的参与，其中6nm工艺号称今年1月份已经量产出货，不过三星没有提供详细的客户信息。 这次采购的20台EUV光刻机不仅会用于逻辑工艺，还会用在DRAM内存芯片上，这有可能带来内存芯片生产的一场变革。 在进入10nm级别之后，DRAM内存也衍生出了1X、1Y、1Z至少三代工艺，大概等效于16-19nm、14-16nm、12-14nm，美光还会有更细化的1α、1β等工艺，但是在越过10nm这个坎上，内存工艺上EUV光刻机也是迟早的事。 从报道来看，三星最快在今年底就会在内存芯片生产上使用EUV光刻机，虽然不知道具体详情，但是年底的时候三大内存芯片厂商应该会开始量产新一代的DDR5内存，所以有可能在DDR5内存上首尝EUV的螃蟹味道。
